188章 以点破面!
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“严格地说,是我们在光刻机设备的工件台这种关键部件系统上取得了突破,通过我们的试用测试,我们研制的工件台部件系统运动精度平均偏差控制在了四点五纳米,运动标准偏差做到了七纳米,按照这个技术指标来算的话,我们工件台系统可以满足六十五纳米制程工艺的光刻机设备需求。”
周晓东此时向一号首长汇报道。
“六十五纳米?”
一号首长此时瞪大了眼睛。
“是的,这是我们在实验生产线里面通过使用测试得到的数据,不过我们还在进行工件台装置的耐久可靠性方面的测试,这个测试过程差
《大国芯之重生九零》188章 以点破面!
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“六十五纳米?”
一号首长此时瞪大了眼睛。
“是的,这是我们在实验生产线里面通过使用测试得到的数据,不过我们还在进行工件台装置的耐久可靠性方面的测试,这个测试过程差
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